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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 建材,電子,汽車,電氣 概要實(shí)時(shí)的干涉測(cè)量設(shè)備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測(cè)。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長(zhǎng)度時(shí),使用干涉測(cè)量法。通過循環(huán),系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度,在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)?;谶@個(gè)相對(duì)簡(jiǎn)單的理論,系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定,并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。
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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,石油,建材,電子,汽車 HORIBA的粒度分布檢測(cè)裝置LA系列中高性能機(jī)種新登場(chǎng)。實(shí)現(xiàn)了目前業(yè)內(nèi)高的檢測(cè)精度和速度,檢測(cè)從亞微米到毫米級(jí)的粉體等各種“粒的大小" 。
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