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簡(jiǎn)要描述:產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,石油,建材,電子,汽車(chē) 這是一套分析放射性發(fā)光的終點(diǎn)監(jiān)測(cè)設(shè)備,為以等離子技術(shù)為基礎(chǔ)的半導(dǎo)體薄膜制程進(jìn)行終點(diǎn)檢定或等離子條件的監(jiān)控而研制。數(shù)學(xué)模型技術(shù)賦予它通過(guò)捕獲微弱信號(hào)的變化進(jìn)行終點(diǎn)檢定的能力。在放射性發(fā)光中捕獲微弱變化的能力顯著地提高了靈敏度。對(duì)于抗干擾性的改善確保了本設(shè)備在復(fù)雜環(huán)境下持續(xù)不停的生產(chǎn)線上獲得高穩(wěn)定的運(yùn)行。
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特征
布賴(lài)特光學(xué)系統(tǒng)是通過(guò)HORIBA Jobin Yvon制造的一個(gè)巨大的,直徑為70 mm的偏差糾正凹面光柵而實(shí)現(xiàn)的。凹面光柵本身的聚光能力使其具有 比短焦距車(chē)爾尼特納型光譜儀更為明亮的一套簡(jiǎn)易光學(xué)系統(tǒng)架構(gòu),并且可以小化因?yàn)殓R面及其他反射面造成的反射損失。
背光式CCD可以達(dá)到高量子效率,確保從紫外光到可見(jiàn)光之間的寬波段范圍內(nèi)獲得穩(wěn)定的分光鏡使用。高靈敏度的測(cè)量在紫外光波段,特別是在那些較少受到干擾影響的波長(zhǎng)范圍,使終點(diǎn)監(jiān)測(cè)成為可能。
應(yīng)制程控制的要求,此軟件可以執(zhí)行多種工序,從等離子體現(xiàn)象分析到測(cè)量數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)創(chuàng)建和生產(chǎn)設(shè)備的遠(yuǎn)程遙控。測(cè)量工序的可編程架構(gòu)設(shè)計(jì)使其可以對(duì)多重監(jiān)測(cè)和時(shí)序處理進(jìn)行設(shè)定。它賦予檢測(cè)器不僅可以被用于終點(diǎn)監(jiān)測(cè),同時(shí)也可以被廣泛的用于等離子體環(huán)境下的監(jiān)測(cè)。
一旦收集到光譜學(xué)的數(shù)據(jù)后,對(duì)制程優(yōu)化或者終點(diǎn)監(jiān)測(cè)的模擬可以通過(guò)應(yīng)用新的制程設(shè)計(jì)反復(fù)進(jìn)行。
從巨大并伴隨干擾的光譜數(shù)據(jù)中發(fā)現(xiàn)細(xì)微的圖形差異是一個(gè)艱巨的挑戰(zhàn)。自動(dòng)圖形軟件將自動(dòng)地找到圖形變化的特征并測(cè)定為合適的終點(diǎn)波長(zhǎng)。
當(dāng)頻率率波器將干擾信號(hào)從原始信號(hào)中過(guò)濾掉后,不同信號(hào)(粉色線)在圖形中的比率(黑色線)變化(上升(A+B+C)/減小(D+E+F))可以使我們準(zhǔn)確監(jiān)測(cè)到終點(diǎn)的位置。
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